DAEIL 隔振平臺(tái)電子顯微鏡內(nèi)置主動(dòng)隔振系統(tǒng)

無(wú)噪聲的納米級(jí)成像

亞赫茲隔振性能

DVIA-M 系列嵌入主動(dòng)振動(dòng)控制算法，
可在六個(gè)自由度下提供 1 Hz 時(shí) 50% – 80% 的隔振效果，在 2 Hz 時(shí)提供 90% 的隔振效果。

內(nèi)置主動(dòng)隔振系統(tǒng)

DVIA-M 主動(dòng)隔振器設(shè)計(jì)為納米級(jí)成像設(shè)備（如電子顯微鏡）的內(nèi)置主動(dòng)隔振系統(tǒng)

反饋和饋送控制算法

DVIA 系列使用反饋控制算法連續(xù)檢測(cè)干擾隔離
表面的振動(dòng)，并立即做出反應(yīng)以實(shí)時(shí)減少振動(dòng)。DVIA 系列采用前饋控制算法
，在地板振動(dòng)傳遞到安裝在主動(dòng)隔振系統(tǒng)上的設(shè)備之前，提前過(guò)濾掉地板振動(dòng)
。

所有六個(gè)自由度的
主動(dòng)隔振

DVIA 系列控制三個(gè)平移度
（X、Y 和 Z）和三個(gè)旋轉(zhuǎn)度（俯仰、滾動(dòng)和偏航）的振動(dòng)。

DAEIL 隔振平臺(tái)電子顯微鏡內(nèi)置主動(dòng)隔振系統(tǒng)

DAEIL SYSTEMS高級(jí)氣動(dòng)隔振器 DVIM-G 系列:

DVIM-G 系列是一種優(yōu)良的氣動(dòng)隔振器，設(shè)計(jì)用于在其他氣動(dòng)隔振器中提供隔振性能、最高的阻尼水平和最快的有效載荷穩(wěn)定時(shí)間。
在其他氣動(dòng)隔振器中，DVIM-G 系列具有隔振性能、最高的阻尼水平和最快的有效載荷沉降時(shí)間。

隔振性能
DVIM-G 系列采用特殊的機(jī)械濾波器系統(tǒng)隔振器設(shè)計(jì)，盡可能降低共振頻率，從而有效減少地面振動(dòng)，在 5 Hz 時(shí)可提供 80% – 90% 的隔振效果。

雙室隔離系統(tǒng)
DVIM-G 系列的雙室系統(tǒng)由一個(gè)空氣室和一個(gè)阻尼室組成。
由兩個(gè)孔口連接：可變孔口和內(nèi)部孔口。可變孔口位于氣室外部，內(nèi)部孔口位于氣室內(nèi)部。
內(nèi)孔位于腔體內(nèi)。這些孔口控制腔室之間的氣流，以提高
阻尼效率，并縮短其沉降時(shí)間。當(dāng)階段加速的高力發(fā)生時(shí)，氣室
產(chǎn)生恢復(fù)力，空氣通過(guò)氣孔流入阻尼室。這些氣孔會(huì)耗散空氣中的能量
空氣中的能量，從而有效地對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行阻尼。

高性能水平調(diào)節(jié)閥
標(biāo)準(zhǔn)水平調(diào)節(jié)閥的重復(fù)精度為 ±0.1 mm，精密水平調(diào)節(jié)閥的重復(fù)精度為 ±0.05 mm。
如果對(duì)重新找平精度和沉降時(shí)間都有要求，建議使用精密找平閥。

DAEIL SYSTEMS高級(jí)氣動(dòng)隔振器 DVIM-G 系列

5 Hz 時(shí)的隔振率為 80 – 90
(無(wú)阻尼器）